富士電機自社の半導体製造工場における、FEMS(工場旅 カジ 出 金管理システム)を活用した電気と熱の最適利用による省エネと、
旅 カジ 出 金供給リスク回避の両立における取組みが評価され、平成28年省エネ大賞の最高賞[経済産業大臣賞]を受賞しました。
FEMSを活用し、「自社:山梨製作所」を
"旅 カジ 出 金セキュリティ"と"省旅 カジ 出 金化"の両立を実現した旅 カジ 出 金のスマート化工場へと変革をすることができました。
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ガスコージェネ
導入による電力自給率
100%の実現 -
FEMSの活用による
持続的な
省エネ -
外気冷熱を利用した
クリーンルーム空調
大幅な改善
何故、旅 カジ 出 金のスマート化工場を富士電機が目指したのか?
半導体製造工場においては、旅 カジ 出 金消費が多く、旅 カジ 出 金使用量の低減は大きな課題です。また、瞬低や停電などによる製造ロスコストも多大となります。
これらの課題を解決するため、FEMSを活用した電気と熱の最適利用による省エネと、旅 カジ 出 金供給リスク回避の両立に取り組みました。省エネ対策として、クリーンルームの FFU(ファンフィルタユニット)最適運転制御、加湿・温度制御方式の改良、FEMSと連携したフリークーリング運転等を実施。また省エネだけでなくBCP(事業継続計画)の観点からも、 UPS、燃料電池とガスエンジンによるコージェネレーションシステムの導入を図り、コージェネの排熱も徹底的に活用しました。これらにより、2015年度には2010年度比34%のエネル ギー使用量削減を実現。瞬低・停電リスクの回避、電力自給率100%も達成しました。
FEMSを中心とした富士電機の新たな取り組み
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