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ファクトリーオートメーション
多軸サーボアンプ一体型コントローラ
コントローラとサーボアンプ、制御電源機能を一体化。
半導体製造装置の小型化・省エネを実現するコントローラです。
半導体製造装置の小型化・省エネを実現するコントローラです。
特長 1
クリーンルームの省スペース化に貢献します。
一般的な汎用製品（コントローラ・サーボアンプ・制御電源）の組合わせと比べて、体積比で約63％削減と大幅な小形化を実現。半導体製造装置そのものを小型化できるので、クリーンルームの省スペース化に貢献します。
特長 2
コンパクトなだけではない、実力、そのユーティリティ。
課題解決
お客様のこんな課題を解決します。
課題
課題1
フットプリント面積を徹底的に小さくしたい
課題2
駆動動力の更なる省エネを図りたい
課題3
半導体の生産効率を高めたい
導入効果
効果1
サーボアンプを基板化し配列するので、コントローラ体積の半減が可能です
効果2
電源の共通化により、回生エネルギーを有効活用することで、更なる省エネを実現できます
効果3
業界トップレベルの性能により、装置の高速化に貢献します
構成・サイズ比較
機能の一体化で、小型化・省エネを実現しています。
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