カジ 旅 登録 方法 富士時報

第70巻第8号（1997年8月）

特集論文

居心地の良いカジ 旅 登録 方法

松村　英樹

カジ 旅 登録 方法システムの現状と展望

横幕　博行，諏訪　延行

半導体や薬品､食品などの製造工場においては､歩留り向上や安全性の確保のためにカジ 旅 登録 方法が必要となっている｡DRAMに代表されるようにその加工精度の向上はめざましく､浮遊微粒子の制御だけでなくガス状成分の領域まで要求されつつある｡ここでは現在の富士電機のカジ 旅 登録 方法関連への取組み､次の世代で要求される化学物質汚染の対策機器･システム､現地におけるクリーン施工について述べる｡

高清浄度カジ 旅 登録 方法システム

数見　英樹，藤瀬　成己，高橋　富行

カジ 旅 登録 方法は､半導体･電子部品･精密機器などの産業分野および医薬品･食品分野の製造プロセスなどに幅広く利用されており､これらの産業分野にとってますます必要不可欠のものとなっている｡半導体製造分野では､LSIの微細化･集積化が高まるに従い､従来のじんあいに加え化学汚染が製造歩留りに影響を与える要因となってきた｡本稿では､従来のカジ 旅 登録 方法システムに加え化学汚染対応システムについて述べる｡

製薬関連カジ 旅 登録 方法システム

峰岸裕一郎，松木　幹夫，大輪　　正

医薬品の製造業界では､製品の品質向上がますます重要視されてきている｡特に1994年のGMP改定で､製品の品質評価を立証するためのバリデーションの実施が必須(ひっす)条件となり､カジ 旅 登録 方法についても､より信頼性の高いシステムや機器が要求されている｡本稿では､カジ 旅 登録 方法システムとカジ 旅 登録 方法で使用される機器(エアシャワー､パスボックス､クリーンブースなど)について､一般工業用カジ 旅 登録 方法と異なる点や最近の技術成果について述べる｡

最近のカジ 旅 登録 方法システム機器

澤田　朋之，蓑輪　義弘，河原　裕二

カジ 旅 登録 方法を構築するために使用されている各種カジ 旅 登録 方法機器は､半導体を中心とした電子機器のめざましい発展とともに厳しい要求を受け続けている｡とりわけ､今日のスーパーカジ 旅 登録 方法では､ケミカルガス対策の重要性が注目を集めており､カジ 旅 登録 方法危機もこの対応を進めているところである｡本稿ではこうしたカジ 旅 登録 方法システム機器の最近の動向について､納入実績を基にその技術動向について述べる｡

カジ 旅 登録 方法内の化学汚染物質の分析評価技術

佐渡　直彦，蛭田　玲子，岩田　英之

半導体や記録媒体をはじめとする先端デバイス製造にかかわるカジ 旅 登録 方法の建設において､製品特性に影響を及ぼす無機系･有機系ガスの化学汚染物質を制御することが､歩留りおよび性能向上を図るうえで重要になっている｡本稿では､カジ 旅 登録 方法の建材選定のための発生ガス成分分析技術とカジ 旅 登録 方法建設後のクリーン度評価のための空気汚染分析技術について述べ､化学汚染物質の微量分析評価例を示す｡

カジ 旅 登録 方法内の気流シミュレーション

寿上　宏司，平櫛ゆかり，松本　悟史

富士電機のカジ 旅 登録 方法設計における気流シミュレーションの適用事例を2件紹介する｡(1)解析プログラムの適用性を検討する目的で実施した走行中の無人搬送車まわりの三次元気流解析と可視化実験との比較では､両者はよく相似しており､数値解析の有効性が確認できた｡また､メッシュ上で搬送者を動かす手法を使うことで､より実際的な状況への適用が可能であることを確認した｡(2)実際の設計でクリーンブース床のグレーチングの開口率が適切かを検討する目的で二次元気流解析を実施した｡

カジ 旅 登録 方法用電源供給システム

日下　　豊，小端　伸二，三橋　正徳

カジ 旅 登録 方法は､半導体分野､電子･精密工業､医薬品製造､食品産業など広い分野で採用されている｡その電源供給システムには､特に高信頼性と省エネルギーが要求される｡本稿では､受変電システム､無停電電源システムを紹介する｡また､カジ 旅 登録 方法監視システムと､省エネルギー手法としてコージェネレーションシステム､VVVFインバータシステムについても紹介するとともに､最近､問題となっている高調波についても述べる｡

普通論文

IGBT式交流電力調整器

谷　　利博，上松　賢司，大熊　康浩

IGBTを用いて交流チョッパ回路を実現した標記の交流電力調整器(PWM-APR)を開発し､単相降圧形を製品化した｡PWM-APRは､IGBTを用いたPWM制御によって商用電源を16kHzという高周波で直接裁断し､出力電圧を制御する｡そのため､小容量のフィルタで出力電圧を正弦波化でき､出力電圧および入力電流のひずみ率はともに5%以下で､高調波規制に十分対応できる｡本稿では､PWM-APRの特長､仕様､主回路構成などについて述べ､今後の展開についてもふれる｡

廃棄物処理用ICPトーチ

片桐　源一，榊原　康史

熱プラズマの利用を目的として開発中の､ICPトーチの概要と応用例について述べる｡このトーチは4MHz高周波電源を利用しており､点火プロセスによる大気圧下での熱プラズマ点火と､軸方向ガスによるフレーム制御を行っている｡従来から行われていた電極間アーク放電方式に対して､無電局で安定に熱プラズマを生成できる点が最大の特長である｡大出力･高効率化をめざし､シミュレーションによる周波数とトーチロ径の最適化検討を進めている｡

無停電電源装置の製品系列

小端　伸二，石川　吉浩，横山　隆浩

無停電電源装置は､金融機関､公共サービス､トータリゼータシステム(競馬､競輪など)､交通管制システム､プラント(電力､化学など)､ニューメディア､医療システム､カジ 旅 登録 方法処理サービスなど広い分野で使用されている｡コンピュータを中心としたカジ 旅 登録 方法通信機器や製造設備機器を停電や電力障害から守る高信頼度電源システムである｡本稿では､パワーエレクトロニクス技術､システム技術､ディジタル技術､高周波スイッチング技術を集大成した富士電機の無停電電源装置の製品系列について述べる｡

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